新聞中心

不忘初心砥礪前行 方實(shí)至名歸

硅溶膠在化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)領(lǐng)域的應(yīng)用

  • 瀏覽次數(shù): ...
  • 發(fā)布時(shí)間: 2023-12-09

目前,電子產(chǎn)品的先進(jìn)制造業(yè)的快速發(fā)展方向?yàn)楦呔龋{米級(jí)的控制精度,亞納米級(jí)的加工精度)、高性能(T級(jí)的儲(chǔ)存量和CPU主頻)、高集成度(納米級(jí)的線寬)以及可靠性(小于1/109的千小時(shí)失效率),因此,對(duì)加工工件表面的局部平整度和整體平整度都提出了前所未有的高要求(要求達(dá)到亞納米量級(jí)的表面粗糙度),同時(shí)對(duì)超精密加工技術(shù)的水平提出了嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。

表面平整化加工的重要手段是拋光,常見的拋光技術(shù)如機(jī)械拋光、化學(xué)拋光、磁研磨拋光、流體拋光、電化學(xué)拋光、離子束轟擊拋光、浮法拋光等,均屬于局部平坦化技術(shù),且平坦化能力從幾微米到幾十微米不等,但是國(guó)際上普遍認(rèn)為,加工工件特征尺寸在0.35μm以下時(shí),必須進(jìn)行全局平坦化,而目前可以提供整體平面化的表面精加工技術(shù)就是超精密化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)(CMP)。

例如在硅晶片的加工過程中,晶片通過吸附作用固定在與其同方向旋轉(zhuǎn)的聚氨酯拋光墊上,拋光漿料通過蠕動(dòng)泵不斷的流到拋光墊上,使之在晶片和拋光墊之間持續(xù)流動(dòng),晶片表面與拋光漿料發(fā)生反應(yīng),通過拋光頭的高速運(yùn)動(dòng)使反應(yīng)物不斷去除,達(dá)到使晶片表面平整、光潔度高的作用。

化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)是化學(xué)作用和機(jī)械作用相結(jié)合的技術(shù),實(shí)際上其微觀過程相當(dāng)復(fù)雜,影響因素也很多。CMP設(shè)備、拋光液、拋光墊、后清洗設(shè)備、拋光終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備等等都對(duì)晶片的拋光速率和拋光質(zhì)量產(chǎn)生重要影響。其中拋光液既影響CMP化學(xué)作用過程,又影響CMP機(jī)械作用過程,是影響CMP質(zhì)量的決定性因素之一。

目前國(guó)內(nèi)外常用的拋光液有SiO2膠體(硅溶膠)拋光液、二氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液、納米金剛石拋光液等。

本文網(wǎng)址: http://www.dl99999.com/news/43.html

聯(lián)系我們

服務(wù)熱線:13864277158

技術(shù)咨詢:13708950217

聯(lián)系郵箱:dhy357@163.com

公司地址:青島市城陽區(qū)夏莊街道玉云路與景安路交匯

致力于硅溶膠成套設(shè)備、白炭黑成套設(shè)備等設(shè)計(jì)安裝及設(shè)備維修于一體的綜合性的民營(yíng)企業(yè)。魯ICP備2021042272號(hào)-1    青島實(shí)驗(yàn)室公司

在線客服

您好,我這邊是在線客服

X
主站蜘蛛池模板: 亚洲av成人无码天堂| 日韩欧美成人免费观看| 国产成人亚洲精品77| 国产久免费热视频在线观看| 亚洲中文精品一区二区| 又色又无遮挡裸体美女网站黄| 狠狠人妻久久久久久综合| 亚洲国产精品久久人人爱| 亚洲国产免费图区在线视频| 在线播放亚洲成人av| 99精品欧美一区二区三区| 亚洲国产美女精品久久久| 网友偷拍视频一区二区三区| 伊人大香线蕉精品在线播放| 国产做a爰片久久毛片a片| 国内精品美女a∨在线播放| 国产亚洲亚洲国产一二区| 色欲av无码无在线观看| 精品一区二区三区四区色| 日韩高清在线亚洲专区小说| 自拍偷自拍亚洲精品播放| 亚洲日本丝袜丝袜办公室| 精品乱人伦一区二区三区| 欧美三级自拍| 日韩亚洲综合在线| 麻豆tv入口在线看| av无码天一区二区一三区| 色综合另类小说图片区| 日韩在线网址| 偷亚洲偷国产欧美高清| 国产精品一区二区不卡的视频| 久久精品女人天堂av免费观看| 国产黑人在线| 亚洲高清国产拍精品熟女| 91麻豆精品国产高清在线| 高清日韩一区二区三区视频| 久久亚洲精品综合国产仙踪林| AV无码中文字幕不卡一二三区| 色吊丝av中文字幕| 国产精品第| 国产一区二区不卡在线视频|